Leica Microsystems Wetzlar GmnH
DM4000M
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-03-09
64,293,308원
직접사용
고정형
시간별
26,789원
◦회전식 대물렌즈 : 모터로 구동되는 6개의 대물렌즈
◦시편 Stage : 8“×8“, 범용 웨이퍼 홀더
◦초점구동
- Coarse focus: 5mm/rotation
- Fine focus: 100㎛/rotation
- Ultra fine focus: 20㎛/rotation
- 재현성: ±0.2㎛
Type : Bright field, Nomarski DIC mode
;Measuring type : Transmittance, Reflectance
;Optical magnification : 50x∼3000x
Objective : (Plan) apochromatic
;Motorized stage : Objective changer, X-Y-Z stage
Digital camera resolution : ≥ 3.3M CCD pixels
Analyzing software : Image tiling and multi-focusing function
;Non-contact thickness measurement of 0.01∼30μm