에코피아
ELT-1000
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-03-02
69,500,000원
직접사용
고정형
시간별
28,958원
Epi wafer의 광학적 특성 측정장치로 현미경, PC(오퍼레이팅피씨), 프로브스테이션으로 구성되어있음
Epi-wafer의 광학적 특성 측정 :
- Spectrometer Wavelength range: 300~1000nm
적용가능시편 : LED 구조 epi-wafer Epi-wafer의 광학적 특성 측정 : - Spectrometer Wavelength range: 300~1000nm - Light Intensity Meter Brightness: 0.01~10cd - Display CIE Chart and Dominant WavelengthEpi-wafer 의 전기적 특성 측정 : - I-V Analyzer including Curve Trace - Forward current (IF): ±(500nA~1A) - Reverse current (IR): ±(500nA~1A) - Forward voltage (VF): ±(500uV~20V) - Reverse voltage (VR): ±(500uV~20V) ;보유 reference : 470nm LED chip wafer 등;Epi-wafer의 금속접합을 위한 ohmic contactor 보유;적용가능시편 : LED 구조 epi-wafer ;Epi-wafer의 광학적 특성 측정 : - Spectrometer Wavelength range: 300~1000nm - Light Intensity Meter Brightness: 0.01~10cd - Display CIE Chart and Dominant Wavelength;Epi-wafer 의 전기적 특성 측정 : - I-V Analyzer including Curve Trace - Forward current (IF): ±(500nA~1A) - Reverse current (IR): ±(500nA~1A) - Forward voltage (VF): ±(500uV~20V) - Reverse voltage (VR): ±(500uV~20V) 보유 reference : 470nm LED chip wafer 등Epi-wafer의 금속접합을 위한 ohmic contactor 보유