아토
D-125
10년
부대장비(부가장치) (주장비:분자선에피성장장치)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-02-28
134,750,000원
직접사용
고정형
시간별
56,146원
액체질소를 고순도로 정제하여 MBE 장비에 사용되는 정제기이다. 고순도의 질소를 만들기위해 부대설비로 질소를
여러가지의 필터를 통해 고순도의 질소를 필터링 하여 MBE 장비에 공정용 질소 가스를 주입
주요 품목- Coaxial vacuum piping : Stainless steel coaxial pipe (0.625인치 or 0.62인치 I.D.) 50.6m- Trixaxial : Stainless steel triaxial pipe (0.625인치 or 0.62인치 I.D.) 8m×4ea- Iolation Valve : Stainless steel isolation pipe(0.625인치 or 0.62인치 I.D.) Inlet : 4ea, Outlet : 4ea- Vacuum Pump : Ultimate Pressure ~ Torr 1ea- Separator : 8 eight-outlets (0.625인치 or 0.62인치 I.D.) 1ea - Regulator & Flow meter : 각 1ea