OMA
GM2000
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-01-25
197,000,000원
직접사용
고정형
시간별
82,083원
Grating 패턴 (LD) 형성을 위한 장치로 고체형레이저 및 광학기구, 광학테이블로 구성되어있음.
\ Single line 아르곤 레이저 광학테이블 및 자동 leveling isolator
장비개요 레이저와 미러를 이용한 Holographic Interference 형성 Grating Pitch : 1755 - 6000A - Uniformity : 3A (2인치 wafer) 레이저 - Single line 아르곤 레이저 광학테이블 및 자동 leveling isolator 광학계 : Electric shutter, UV Mirror, Beam Steering Mirror, Attenuator Filter, Beam ExpanderWafer Holder - Linear stage, Rotation stage - 3-axes Motion Controller / Driver - 분해능 : 0.5um, 3 arc - 정밀도 : 5um, 0.5 arc광파워메터: 190 -1100 nm