SSUS MicroTech
SUSS VIT-801
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-12-05
570,000,000원
고정형
원
특징 1. Measurement type: - RF measurement, up to 50 GHz - DC measurement 2. Substrate types: - Wafer up to 200mm (8.), Probe area 150mm x 150mm - Wafer or substrate fragments, - Single chips - RF calibration substrate 3. Pressure: - High vacuum (10-5 mbar) up 활용분야 DC & RF 측정