SII(Seiko instrument incorporation)
SII SMI3050SE
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2005-11-24
667,000,000원
없음
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기관의뢰
고정형
시간별
200,000원
특징
1. High performance Focused Ion Beam (FIB) Optic System
- SEM Resolution : 4nm or better Beam coincidence and Eucentric point
- Maximum Probe Current Density : 30 A/cm2
- Minimum Probe Current : 0.15pA or less
- Maximum Probe Current : 20nA or equivalent
- Ion Source : GA liquid metal needle ion source
2.
① 표준시료Holder를 이용, 각종 연구부문에서 사용되는 다양한 형태의 시료에 대응 가능합니다.
② 선택사양의 각종 자동가공 Software를 이용하여 고정밀도, High Throughput의 TEM시료제작이 가능합니다.
③ 선택사양인 Micro Probing System을 장착하여 Ion Beam 조사영역 의 시료표면에 Probe를 접촉시키는 것이 가능합니다.
또한 Micro Probing system은 Stage와 같이 Tilt가 가능하여 시료표면에 Probe를 접촉시킨 상태에서 Tilt시킬 수 있어
다른각도에서 이온빔의 조사가 가능하므로 여러방향에서 자유롭게 조작 가능합니다.
④ 표준장착된 Sub Chamber를 구비하여 Main chamber를 Vent하지않고 Sample교환을 할 수 있다.
⑤ Gas Gun System을 추가장착함으로써 SIINT사가 세계 선구적으로 실현한 Carbon Deposition에 의한 3차원 나노구조
제작에 필요한 고농도 Gas분위기를 이온빔 주사영역에 실현 3차원 나노구조물 제작이 가능하고 3D-CAD System으로
만든 입체구조의 Data를 읽어들임으로써 복잡하고 미세한 형상제작이 가능합니다.
* 활용분야
단층분석 및 TEM시편 준비
나노구조 및 3D구조 제작
* 사양
시료 크기 : 최대 (가로 *세로)50mm 두께 7mm
시료 Stage : 5-Axis Motor Eucentric Tilt Stage
구성 및 성능
TEM Sample 제작, 반도체/디스플레이 소자 단면 및 표면 분석, 3D Atom Probe 시편 제작
Gas Gun System을 추가 장착함
고농도 Gas분위기를 이온빔 주사영역에 실현 3차원 나노 구조물 제작이 가능