STS(SURFACE TECHNOLOGY SYSTEM)
Multiplex Lite ASE-SR
4년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2005-11-08
452,000,000원
고정형
건별
150,000원
특징
- 기판 크기 : 4inch or 6inch - 평균 Si 식각률 : > 2um/min - 선택비 (Si:PR) : < 50:1 - 사용 gas : SF6 + O2, C4F8
활용분야
Si etching특징
- 기판 크기 : 4inch or 6inch - 평균 Si 식각률 : > 2um/min - 선택비 (Si:PR) : < 50:1 - 사용 gas : SF6 + O2, C4F8
활용분야
Si etching특징
- 기판 크기 : 4inch or 6inch - 평균 Si 식각률 : > 2um/min - 선택비 (Si:PR) : < 50:1 - 사용 gas : SF6 + O2, C4F8
활용분야
Si etching특징
- 기판 크기 : 4inch or 6inch - 평균 Si 식각률 : > 2um/min - 선택비 (Si:PR) : < 50:1 - 사용 gas : SF6 + O2, C4F8
활용분야
Si etching
구성 및 성능
- 기판 크기 : 4inch or 6inch - 평균 Si 식각률 : > 2um/min - 선택비 (Si:PR) : < 50:1 - 사용 gas : SF6 + O2 C4F8