SII
SII SMI3050SE
10년
주장비
계측
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사탐침현미경
2005-11-24
759,963,919원
없음
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기관의뢰
고정형
시간별
200,000원
특징
1.FIB 가스주입시스템을 통해 나오는 가스(C, Pt)를 주입하여 CVD기법으로 시편 표면에 증착하여
단층분석 및 TEM 시편 제작시 시료 표면 보호
2.Gas Gun System을 추가장착함으로써 SIINT사가 세계 선구적으로 실현한 Carbon Deposition에 의한 3차원 나노구조
제작에 필요한 고농도 Gas분위기를 이온빔 주사영역에 실현 3차원 나노구조물 제작이 가능하고 3D-CAD System으로
만든 입체구조의 Data를 읽어들임으로써 복잡하고 미세한 형상제작이 가능합니다.
구성및성능
TEM Sample 제작, 반도체/디스플레이 소자 단면 및 표면 분석, 3D Atom Probe 시편제작
활용분야
미세표면 및 단면 분석 및 가공(증착), 회로 수정 및 마스크 보수, 고장 분석, TEM시편제작 및 3D구조 제작
구성및성능
TEM Sample 제작, 반도체/디스플레이 소자 단면 및 표면 분석, 3D Atom Probe 시편제작
Gas Gun System을 추가장착함
고농도 Gas분위기를 이온빔 주사영역에 실현 3차원 나노구조물 제작이 가능