래디언테크
Lam
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-11-17
1,703,760,000원
고정형
시간별
0원
특징
박막이 형성된 기판(웨이퍼) 위에 불필요한 부분을 제거해 회로 패턴이 드러나도록 하는 장비가 바로 건식 식각장비(dry etcher)입니다. 이렇게 기판 위에 박막을 형성하고, 식각을 통해 회로 패턴을 형성하는 과정을 반복함으로써, 반도체만의 고유한 특성을 갖게 됩니다 . 해당장비는 Dry Etcher의 부분품 실장테스트 지원이 가능합니다
- Module A Body: Centura Ⅱ Chamber: E-Max / MxP (DPS ESC Kit 장착가능)
Gas: Ar,CF4,O2 RF Power: 13.56㎒ - Module B Body: Stand-alone Chamber: XL-Metal Gas: N2,O2,CF4 RF Power: 13.56㎒ - Module C Body: Unity Ⅱ Chamber: DRM, DRM(SCCM ESC Kit장착가능) Gas: Ar,CF4,O2 RF power: 40.68㎒, 3.2㎒