BMC
자체제작
10년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-07-14
187,000,000원
고정형
시간별
60,000원
전기화학 스트립형 바이오센서의 전극 형성금, 백금, 팔라듐 등의 귀금속을 target으로 장착하여 사용
- 298(L)× 210(W)× 0.25(t) Polymer Film 12매를 한번에 넣어서 Au /Pt /Pd 등을 1,000Å이하의 두께로 막을 증착시켜 10분 이내의 Cycle Time을 가지는 장치- 도달 진공도 : ≤ 5 x 10-7 torr (공챔버에서 12시간 펌핑 후)- 초기 진공도 : ≤ 8 x 10-6 torr- 작업 진공도 : ≒ 1~5 mtorr (자동 조절)- ROR(Rate Of Raise) : ≤ 5 x 10-5 torr liter / sec- 박막 Uniformity : ± 5% @ 297 x 210 mm (126mm×380mm 사용 시)