JEOL
JSM-6700F
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2005-08-03
411,440,902원
기관의뢰
고정형
건별
40,000원
고진공중에서 금속표면에 강한 양전위를 걸어 주어 전자를 표면으로부터 떼어내는 방식으로 열전자에 비해 전류밀도가 매우 높기 때문에 고휘도의 전자빔을 얻을 수 있다. 따라서 일반 주사전자현미경보다 고분해능, 고배율로 분석이 가능하고, 에너지분산분석기(EDS)를 부착하여 시료의 전체적인 정성, 정량분석 및 구성원소의 분포확인이 가능하다.
주 장비인 FE-SEM에 EDS가 부착됨.
(FE-SEM)
-Accelerating Voltage : 0.5 ~ 30kV
-Magnification : 25 ~ 650,000 X
-Resolution : 1.0㎚(15kV), 2.2㎚(1kV)
-Image : SEI, BEI
(EDS)
-Detectable element : B(5) ~ U(92)
-Detection range : 120eV ~ 20keV
-Resolution : 139eV