HITACHI
S-4800
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2005-03-25
292,157,915원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
67,500원
SE image resolution : 2nm at 1kV, 1nm at 10kV
electron gun : cold field emission electron source
Acc. voltage : 0.5~30kV(variable at 0.1kV/step)
Magnification : X30~X800,000
전자들을 전자 렌즈 시스템에 의해 샘플의 표면에 접속되고 이때 전자빔을 화상시스템과 동기화 시켜 시편의 표면에 x-y로 스캐닝되어 시편에서 발생되는 이차 전자가 전류로 증폭되어 CRT와 동기화시켜 이미지를 형성하게 된다.