뉴영엠테크
RTA200H-SP1
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-02-21
124,900,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
90,000원
Ti, Ni Silicide 전용장비, 그 외의 금속은 투입을 불허함.
공정진행 전 반드시 Cleaning을 진행하여야 함
공정 Max time : 3min
공정 전 온도에 대한 Recipe가 있는지 확인하여야 하며 이외의 공정은 담당자와 공정가능여부 확인할 것
Ti, Ni silicide를 위한 RTP 공정 진행 .
10sec 내에 1000도 까지 급속 heating, anneal, thin oxidation, alloy 가능
공정 전 온도에 대한 Recipe가 있는지 확인하여야 하며 이외의 공정은 담당자와 협의 후 공정가능여부 확인할 것