Karl-suss
MA-6
8년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2005-01-01
272,774,903원
기관의뢰 직접사용
고정형
건별
36,000원
MA6 Aligner는 고해상도의 사진공정을 위해 설계 되었다. Double side align이 가능하며, 조각 시편에서 6 Inch Wafer까지 공정이 가능할 뿐만 아니라 다른 두께의 비규격 모양의 기판을 다룰 수 있는 뛰어난 융통성을 가진 장비이다. 또한 MA6를 가지고 수동 작업을 행하면 모든 종류의 Contact 프로그램(Vacuum, Low vacuum, Hard, Soft Contact and Proximity)까지 가능하며 X, Y방향 변위이동은 0.1㎛이하이며 광학적 방법으로는 감지가 되지 못하고 6mm 두께의 Wafer와 기판까지도 프로세스가 가능하다.
MA6 Aligner는 고해상도의 사진공정을 위해 설계 되었다. Double side align이 가능하며, 조각 시편에서 6 Inch Wafer까지 공정이 가능할 뿐만 아니라 다른 두께의 비규격 모양의 기판을 다룰 수 있는 뛰어난 융통성을 가진 장비이다. 또한 MA6를 가지고 수동 작업을 행하면 모든 종류의 Contact 프로그램(Vacuum, Low vacuum, Hard, Soft Contact and Proximity)까지 가능하며 X, Y방향 변위이동은 0.1㎛이하이며 광학적 방법으로는 감지가 되지 못하고 6mm 두께의 Wafer와 기판까지도 프로세스가 가능하다.