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Karlsuss
MA-6
15년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2005-03-29
75,000,000원
고정형
기타
원
포토리쏘그래피 공정 시 PR이 패턴된 샘플 표면에 강한 UV를 노광시켜 PR을 변성시키는데 사용.
UV램프부, 전원부, 현미경, 마스크 홀더, Align 스테이지 등으로 구성 됨. 최대 2 마이크로 해상도까지 지원하는 포토리쏘 그래피 용 노광기.