오토테크
Physical Vapor Deposition System
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비
2005-08-03
349,000,000원
제우스
규격
PLD system + Sputter system + Loadlock chamber
(substrate = max.1000℃ target sweeping system loadlock
chamber=2x10-8 torr TMP 3gun system COMpex 110 system)
부품내역
PLD Chamber Part(Chamber Substrate Module SY Sweeping System Target Carousel Module TMP & Rotary Pumping System Load-Lock System Gate Valve Gas Delivery System View Port Angle Balve Shutter Chamber Vent Valve Control Rack System System Frame) Sputter Chamber Part(Main Chamber Module Cathode Module Auto Pressure Control Module Gas Line Module Pumping Unit 냉각수 분배기 및 냉각수 제어 sensor System Control Rack 구성 19“ Standard System Frame System 구성 및 Test 등.)
Lambda Physik Excimer Laser System(Model COMPex 110 Local Supply Gas Cabinet Pptical Table Laser Table)
다양한 소재(전극소재 전자세라믹스 박막 광학박막 등)의 증착 및 에칭을 통한 소자 제작 및 신 재료(우수한 물성의 소자를 )의 제작 및 평가를 위한 복합장비시스템의 장비 이다.
기관의뢰
고정형
일별
100,000원
물리적증착시스템 (Pulse Laser Deposition, PLD)’ 장비는 크게 두 부분으로 나뉘는데 레이저를 발생시키는 부분과 샘플을 넣어 원하는 물질을 증착(Deposition) 시키는 챔버(Chamber) 부분으로 나눌 수 있습니다.
레이저의 종류는 엑시머 레이저(Excimer Laser)를 사용하며, 총 4가지의 가스(Ne, Kr, F2, He) 혼합하여 사용한다.
또한 증착 시키고자 하는 물질을 타겟(Target) 형태로 가공하여 하단부에 위치 시켜놓고, 레이저를 타겟에 집광시켜 원하는 물질이 승화되어 기판에 증착되는 방식으로 코팅이나 박막을 제조할 수 있습니다.
- PLD system + Sputter system + Loadlock chamber
(substrate = max.1000℃, target sweeping system, loadlock,
chamber=2x10-8 torr, TMP, 3gun system, COMpex 110 system)