■구성
- Main body

■특징
- RF Power : Max. 600W
- Pump 사양 : Oil Rotary Vacuum Pump
(Max. 10-2Torr 이하)
- Gas :
Process gas : 기본 Ar
Purge gas : N2
- Controller : Mycom with Touchscreen
- Loading Type
Magazine 방식
Magazine 종류별로 모두 가능 :
S1608, S1615, S16125, T3528, T5060
- Magazine Loading 수 : Min. 8ea
- Chamber내 압력 조정 : 가능