Korea Vacuum tech
KVE-C30080
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2005-08-11
100,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
150,000원
특징
Ⅰ. PROCESS CHAMBER UNIT - MATERIAL : SUS 304L - SIZE : 620(W) x 620(D) x 550(H) (FRONT DOOR TYPE) Ⅱ. VACUUM PUMPING UNIT - CRYO PUMP & He COMPRESSURE . PUMPING SPEED : 2,500 L/S(N2) 이상의 제품 사용 - DRY PUMP : 1 EA . PUMPING SPEED : 800 L/M 이상의 제품
Ⅰ. PROCESS CHAMBER UNIT - MATERIAL : SUS 304L - SIZE : 620(W) x 620(D) x 550(H) (FRONT DOOR TYPE) Ⅱ. VACUUM PUMPING UNIT - CRYO PUMP & He COMPRESSURE . PUMPING SPEED : 2,500 L/S(N2) 이상의 제품 사용 - DRY PUMP : 1 EA . PUMPING SPEED : 800 L/M 이상의 제품