신도기연
SDSCKHU02A
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-08-18
58,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
65,000원
ITO glass 혹은 patterning된 기판 LCD 패널을 auto align 기능을 이용하여 정밀 절단하는데 사용된다.
- Substrate Size : 370×470mm - 위치분해능 : 10㎛ - Auto Alignment
구성및성능
◆ Substrate Size: 370 X 470mm
◆ Cutting tolerance: 100μm
◆ Pattern 기억수: 30종류이상
◆ Scribe 이동 Speed: 5∼450mm/sec
◆ Scribe 횟수: 각 면50개
◆ Cutter Head 수량: 1EA
◆ Auto Alignment
◆ Film 고정: Vacuum
◆ Stage 평탄도: ±2/100mm
◆ Work회전: DD Motor 사용