신도기연
SDRBKHU01
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2005-06-27
58,500,000원
기관의뢰
고정형
시간별
68,000원
배향막을 일정한 방향으로 문질러 액정분자의 배향을 유도하는데 이용된다.
◆ Work Size: 8" x 8"
◆ 기판고정: Vacuum 흡착
◆ Depth: 1/100mm 설정
◆ Stage 고정: Magnetic System
◆ Stage 이동 Speed: Digital설정 Digital표시 Servo제어
◆ Stage 구동: AC Servo Motor
◆ Roll 회전수: 2000RPM.
◆ 정밀도
- Roll회전 흔들림: ±20μm이내
-Table평면도: ±15μm
- Roll 평행도: ±15μm이내(대 Table)
- Roll 주행: ±15μm이내(대 Table)
- Work 위치결정: ±15μm이내