JEOL
Jeol JXA-8100(2CH)
5년
주장비
분석
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2004-12-09
279,194,880원
고정형
시간별
원
EPMA의 원리로는 가속된 전자 빔이 시료를 구성하고 있는 원자와 충돌하여 원자의 하부각에 있는 전자를 떼어내면 빈 자리가 형성되고 이 자리는 상부 각에 위치한 전자가 떨어지면서 채워지게 된다. 이때 두 전자 사이에 형성된 에너지에 의해 특성 X-선이 방출되며 이들의 에너지는 원자마다 다르므로 이를 이용하여 시료의 구성원소를 분석하며 또한 이들의 상대적 세기를 비교함으로서 각 구성 원소들의 양을 분석한다.
분석하는 성분분석법에는 두 가지 방법이 있는데 하나는 특정 X-선의 원소별 파장 차이를 이용한 WDS이고 다른 하나는 특성 X-선의 원소별 에너지 차이를 이용한 EDS이다. WDS 분석법을 이용하기 위해서는 회절결정이 필요한데 현재 센터에 설치된 회절결정은 6개로서 TAPJ, PETJ, LIF, LDE, LDE2, PETHS, LDE1H가 장착되어 있다. 모델은 JEOL사(Japan)의 JXA-8100이고 규격은 ~30kV(Resolution: 1,280x1,280)이다.