JEOL
JSPM-5200
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2004-05-07
151,817,563원
고정형
원
SPM은 STM과 AFM을 통칭.
STM : 금속탐침을 도체인 시료표면에 접근시킨 후 전압을 걸어주어 생기는 양자역학적 터널링현상을 이용하여 위에서 보는 형상 및 굴곡도, 전류등을 측정
AFM : Cantilever와 시료표면의 원자사이에 작용하는 인력, 척력을 이용하여 표면굴곡을 원자분해능으로 관찰
1. SPM : Atomic resolution(HOPG atomic image)
2. AFM : Atomic resolution(mica with the contact mode)
standard : 10mm * 10mm * 3mm(thickness)
maximum : 2-inch wafer