Seiko
SPA 500
4년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 표면특성측정장비 > 표면거칠기/미세구조측정장비
2004-03-23
163,900,000원
기관의뢰
고정형
건별
50,000원
- 미세한 탐침을 시료 표면 가까이 가져갈 때 생기는 원자간의 상호작용력을 측정해 시료표면의 형상을 알아내는 장치
- 시료표면의 형상뿐만 아니라 시료의 전자기적, 물리적 특성도 알아낼 수 있다.
- Resolution : XY 0.5nm , Z 0.05nm Stage part :
Sample stage 150mm(6inch) with rotation mechanism vacuum chucking, Stroke X : 150mm, Y:110mm
- Scan range : XY 90㎛, Z 6㎛
- Optical Microscope : Magnification from X230 to X1600 with electrical zoom