◎SEM & EDX 전자현미경은 아주 에너지가 큰 전자비임을 이용하여 아주 작은 크기의 물체를 분석하는 기기로서 물체의 표면의 형상 물체를 구성 하는 입자들의 형상과 크기 물체를 구성하는 원소와 화합물의 종류 및 상대적인 양 등을 관찰할 수 있다. 전자총에 의해서 형성된 일련의 전자들 이 인가된 전기장에 의하여 시료를 향하여 가속되고 전자다발이 금속으로 형성된 aperture와 자기장을 이용한 렌즈에 의해서 촛점으로 모아지고 파장이 일정한 전자비임을 형성하여 이 비임이 다시 자기장을 이용한 또 다른 렌즈에 의해서 시편에 촛점을 형성하여 시편에 입사된 전자들과 시 편내에 포함된 원자 및 전자들이 상호작용하여 발생한 2차전자을 이용한다. 2차전자를 이용하여 시편의 관찰영역 전체를 스캔하여 시편의 영상 을 CRT에 표시한다. 에너지 분산형 X-선 분석기는 전자비임이 시편에 입사되면 가속된 입사전자들이 시편내 원자들의 내각의 전자를 축출하면 외 곽에 있는 높은 에너지를 가진 전자가 축출된 전자자리를 채우면서 이 에너지 차를 X-선으로 방출하는데 이를 특성 X-선이라고 한다. 이 X-선을 분석하여 조성이나 분포를 분석하는데 사용한다. 특히 미세 부문의 분석에 용이하다.