Horiba
Uvisel HR460
10년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-03-30
177,527,103원
직접사용
고정형
시간별
73,970원
- 편광을 이용하여 샘플의 두께 및 굴절률 측정
- 다양한 방식으로 빛의 편광 특성 변화를 확인하여 빛의 파장에 따른 물질의 복소 굴절률(complex refrective index)을 측정하는 장비
측정 파장 범위 : 240nm ~ 1700nm
Monochromator
- Czerny-Turner type
- Focal Length : 160nm
광원 : Xenon Lamp, 75W, 190nm ~ 1700nm
Polarizer and Analyzers : Polarization by electrical modulator
- Beam 직경 : 2mm ~ 6mm
- Beam divergency : ≤ 1mrad
Goniometric Bench
- 이동각 범위 : 20° ~ 90°
- Positioning 정확성 : ≤ ±0.01°
Detector : 파장범위 240nm ~ 1700nm
;Sample Holder
-Sample 크기 : ≥ φ 200mm
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