Denshi Giken
DSF-967
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-02-02
99,174,520원
고정형
시간별
41,323원
초음파를 이용하여 웨이퍼 표면 세척
적용가능 기판크기 : 2" 등적용가능 기판 : sapphire 등 모든 기판 적용 가능주요제원 - Bath 1, 2 : cleaning chemical - Bath 3, 4 : city water - Bath 5 : D. I. water - Bath 6, 7, 8 : IPA - Bath 9 : IPA with HEPA공정 : 연마 가공된 wafer를 cleaning 공정 작업 수행