Denshi Giken
DSF-362J
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-02-02
47,123,161원
직접사용
고정형
시간별
19,635원
샘플의 두께를 줄이기 위해 연마하는 장비로 세정부 모터부 노즐분사부로 구성되어있음
정밀한 두께 측정을 위해 두께게이지 및 주기적인 연마를 함으로 인해 발생되는 평탄도를 맞추기 위한
별도의 드레싱장치로 구성되어있음
적용가능기판크기 : 2" 등적용가능기판 : Sapphire 등 모든 기판 적용 가능주요제원 - Distiller : Distillation of used for cleaning liquid - Bath 1 : Organic solution Bath type : double Over flow and circulation system - Bath 2 : City water Bath type : single, V-notch - Bath 3 : IPA vapor Elevator system Bath type : double