에스이테크
주문제작
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-01-26
225,500,000원
직접사용
고정형
시간별
93,958원
실리콘 기판의 표면연마 사용으로 인한 기판의 세척장비임
◦Control panel
- 조광형 선택(Select) 스위치
- 비상정지 Switch(EMR Switch)
- Resistivity Monitor
- Touch Screen
구성케미컬 미케닐컬 폴리싱장비 전용 세척장비로 구즈넥, 한개의 드레인라인, 초순수 공급라인 및 리턴 라인등등성능스피드 로테이션 : 일천에서 사천까지알피엠회전장착 가능 서브스트레이트 : 사인치 기판 전용십미리 구경두개의 후드엑스액시스:워크피스 와이드 셋팅 레인지와이액시스맥시멈 스트로크 : 백육십이미리제트액시스리메이닝 어마운트 인풋 레인지 : 영점영영이미리에서 일백육십미리메인플레임:서스304,touch screen 제어방식자동 CO2소화기소화약제:이산화탄소manual clean plate:6x500ml beaker