Panasonic사
UA3P
11년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 접합조립장비
2004-01-20
831,036,752원
기관의뢰
고정형
시간별
50,000원
◦최대측정정확도: 10nm
◦측정유효범위: 200×200×45(mm)
◦광원 : He-Ne Laser
◦신호변환기 : Atomic Force Probe
- 루 비 : 곡률반지름; 0.5mm, 측정압력; 0.3mN (30mgf)
- Diamond : 곡률반지름; 2um, 측정압력; 0.3mN (30mgf)
◦측정 유효각 : 60°
◦프로브 측정 정밀도
- 루비 (표면 경사각에 따른 구분)
Up to 30; 0.01 to 0.05㎛
Up to 45; Up to 0.1㎛
Up to 60; Up to 0.3㎛
- Diamond (표면 경사각에 따른 구분)
Up to 30; Up to 0.1㎛
◦측정 속도 : Step Setting Range of 0.01 to 10mm/sec
o 측정 유효범위 : 200 X 200 X 45mm
o 광원 : He-Ne Laser
o 신호변환기 : Automic Force Probe
o 측정 유효각 : 60도
o 측정 Probe : Diamond R0.002mm