Meiwa Shoji Co., Ltd.
Pure Osmium coater NEOC
8년
주장비
기타
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2004-05-31
32,414,882원
이동형
기타
0원
주사전자현미경으로 관찰하는 시료의 Charging 방지에는 CVD-오스뮴코팅이 효과적이다.생물과 무기화합물 등 전도성이 없는 시료는 대전방지처리후 SEM으로 관찰하는데 종래에는 진공증착 혹은 Ion coater로 시료표면에 Au, Pt를 코팅하여 가전했으나 복잡한 형상의 시료에 대해서는 충분한 효과를 보지 못했다. 이에 반하여 CVD에 의한 오스뮴 코팅법은 그 어떤 시료에도 극히 얇은 코팅으로 최상의 전도성을 부여한다. 피착한 Os 입자는 Au, Pt와 같은 결정화에 의한 입자성장이 없고 초고배율로 올라갈수록 월등한 효과를 보인다
시료실, Annode, Cathode, 시료 스테이지, 고압발생장치, 진공배기장치, Vapor 가스 압력 조절 밸브, 진공게이지 및 로터리 펌프로 구성되어있으며 생체재료, 요철이 심한 샘플에 대하여 시료 전체를 균일하고 얇게 코팅할 수 있다.