Halcyonics GmbH
MOD-SW-1000-6.0
주장비
기타
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2004-10-13
58,895,000원
고정형
원
Vibration Isolation Platform은 본 나노센터의 SEM장비의 Vibration을 잡아주는 제진시스템으로써 좀더 미세한 Lithography을 위해서는 필수적인 장비이다. Halcyonics GmbH 社의 Active Vibration Isolation Platform은 고유진동수의 경우 하중에 영향을 받지 않고 피스톤의 유효단면적과 공기 챔버의 체적비율 부분에도 탁월한 성능을 발휘하고 있어, 소자 특성 측정 및 응용 부분에서 최고의 성능을 가지고, 그 응용도가 다양하여 경쟁사의 2개 역할을 할 수 있어 각각의 응용에 대해 활용도가 높은 장비이다. 특징 - Vibration Isolation System Frequency Range : 1 Hz ~ ∞ Isolation Performance : > 5Hz = 25dB, > 10Hz = 35dB Sensors : Piezo-Electric Accelerometers Sense Horizontal and Vertical Vibrations Actuators : 8 Electro-Dynamic transducers Overload In 활용분야 기타
SEM 장비의 Vibration을 잡아주는 제진시스템