Applied Lab
ALS150
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2004-08-30
252,000,000원
직접사용
고정형
건별
30,000원
PR 코팅 작업
Wafer를 이용한 PR 막을 형성하기 위해 필요한 장비로 spin process 처리를 위한 파라메타 설정상, 속도 및 가/감속 컨트롤이 가능하고 exhaust volume 조정 기능이 있어 PR uniformy 성능 제고가 가능하며, baking 과 deverlopment 공정을 수행할 수 있다. 조작은 로봇팔에 의하여 분위기중에서 이루어진다.