GATAN
Model 691
10년
부대장비(부가장치) (주장비:전계방출형투과전자현미경(FE-TEM))
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2004-11-03
149,678,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
65,000원
투과 전자 현미경을 이용하여 시편을 관찰하기 위한 전처리 장치 중의 하나. 100nm 이하의 전자 투과 가능 영역을 확보하기 위하여 Ar 이온을 조사하여 시편을 연마. 미세홀 가공.
Model : Gatan model 691 . Ion source : Two sets of Penning type guns . Beam tilt : 0˚ to ÷ 10˚ . Double side milling . Stereo microscope : 40x 80x dual power . Beam energy : 1 keV ∥ 6 keV . Beam density : 10 mA/㎠ per source