GATAN
Model 691
10년
부대장비(부가장치) (주장비:전계방출형주사전자현미경(FE-SEM))
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2004-08-06
208,961,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
기타
35,000원
본 장비는 주사전자현미경의 시편 제작용 장치로써 주사전자현미경을 이용하여 시편을 관찰하기 위한 시편 전처리 장치 중 가장 최신의 기술과 기능을 갖춘 장비임. PECS는 SEM, TEM, LM용 Precision Etching Coating system으로 에칭이나 고해상도 코팅이 된 샘플이 요구되는 환경에 사용
Model : Gatan Model 682 . Beam 에너지 : 1~10keV . Beam 밀도 : 10mA/cm2 . Coating 속도 : 10keV에서 탄소 : 0.5Å/sec Cr: 1.5Å/sec . Etching 속도 : 10keV에서 W : 3┢m . Target : C Cr W Au/Pd Ir Pt Ti Ta Au Al2O3