아텍시스템
Hybrid
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-11-25
233,427,000원
고정형
시간별
29,000원
PVD코팅
․ Process Chamber : φ900x1,200․ Baking heater : 400℃, 25kW․ Vacuum system : 저진공(RP+BP), 고진공(Cyro pump)․ Arc gun : 200A․ Bias : 1,000V ․ 가스공급장치(MFC) : N2, Ar, H2, CH4