Micronics
LRS-55
10년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2004-12-22
60,214,000원
고정형
기타
0원
특징
- Blank Mask에 laser를 이용하여 패턴을 형성
- 설계된 반도체 회로패턴을 E-beam Laser를 이용하여 Cr이 칠해져 있는 Glass 위에 그려 MASK(Reticle)를 만드는 장치
구성및성능
- 최소선폭 : 3.0um
- mask size: 6 X 6 ~ 24 X 24
- Writing Speed : 900(㎟/min)
- overlay Accuracy(3 sigma) : < 0.5um
- Address Resolution : 125nm
- 레이저 파장 : 442nm(Blue)
- HeCD laser Heads(Writing Laser): 3 ea
- Lasr Power : 40 ~ 70 mW
- Laser 수명 : 2000hr
- HeNe laser 파장 : 632.8nm
- HeNe Power : 1mW
- HeNe laser 수명 : 2000hr