Tui laser
TuiLaser M100
11년
주장비
교육
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2004-02-26
120,048,000원
고정형
시간별
0원
활용분야
a-Si annealing Si substrate etching
특징
레이저발광부:KrF (192 nm) gas eximer laser
구성및성능
Laser Medium:KrFWavelength:248nmMax.pulse power:250mjAverage power Max:5WRepetition Rate:100HzBeam Dimension:7mmx15mm
Laser Medium:KrF
Wavelength:248nm
Max.pulse power:250mj
Average power Max:5W
Repetition Rate:100Hz
Beam Dimension:7mmx15mm