삼한진공개발㈜
개발장비
5년
주장비
시험
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2003-01-23
70,000,000원
고정형
원
1.진공용기(용해용기,시료 모음통), 2.배기장치(Oil Rotary Pump, Booster Pump, Diffusion Pump, Valves), 3.가스 공급장치(콘트롤러, 센서, 가스밸브, 압력계), 4.WHEEL 장치(회전 Seal, WHEEL, MOTOR), 5.HEARTH 장치, 6.전극장치(구리전극, 텅스텐전극, 구동장치), 7.제어반, 8.DC전원장치, 9.Frame, 10.Brushy, 11.카메라장치