FEI
FEI QUANTA 400
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2003-04-01
176,278,152원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
특징
다중 PLA(Pressure Limited Aperture)를 사용하여 컬럼을 항상 고진공을 유지함으로서 시료를 탈수나 코팅하지 않고도 높은 해상력을 얻을 수 있으며 기존의 SEM에서는 불가능한 몇가지 detector의 사용으로 가스환경하에서도 선명한 SE image를 볼수 있게 되며 빛과 고온에서도 제약없이 전자를 검출할 수 있는 기술장비 기기입니다.
Resolution : 3.5nm @ 30kV High Vacuum Mode 3.5nm @ 30kV ESEM Mode 15nm @ 3kV Low Vacuum Magnification : 6x to 1 000 000x high and low Vacuum Mode Maximum Probe Current : 2uA 구성되어 있는 기술장비 기기입니다.