Seiko Instument
Seiko SPI3800N Probe Station
5년
주장비
분석
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2003-02-13
120,501,164원
기관의뢰
고정형
시간별
원
특징
원자수준의 분해능을 제공하는 원자현미경으로 다양한 연구분야에 이용됨. 시료표면과 탐침사이의 미세한 원자력을 감지함으로써 시료표면의 형상을 측정하는 것이 기본 기능이다.
SPM은 나노기술로 제조된 Probe를 사용하는데 이 Prove는 Prove의 모판(substrate) 끝에 아주 미세한 힘에서 쉽게 휘어지는 판형 스프링(cantilever) 끝에 원자 몇 개 정도의 크기로 끝이 가공된 탐침(tip)을 붙였다. 이 Probe tip의 끝을 샘플 표면에 근접시키면 끌어당기는 또는 밀어 내는 여러 가지 힘이 샘플 표면의 원자와 tip 끝의 원자 사이에 작용하는데 이 힘에 의해 cantilever의 휘어짐이 발생하고 이 힘이 일정하게 유지되도록 하면서 귀환회로에 의해 정밀 제어 하면서 각 지점(x,y)에서 스캐너의 수직위치를 저장하여 샘플 표면의 삼차원 영상을 얻을 수 있다.
마찰력의 차이를 측정할 수 있는 FFM이 포함되어 있으며 DFM MFM Phase Imaging기능도 포함되어 있다. Probe Head Maximum sample size : 35mm × 10mm Scanners and scanning area XY : 20μm Z : 2μm(Standard) or comparable Resolution : better than XY : 0.2nm Z : 0.01nm