SAIRON
SPA4000
5년
주장비
계측
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2003-01-08
33,300,000원
직접사용
고정형
건별
15,000원
1. 용도 : 박막 두께, 굴절율 측정, 광손실율 측정
2. 구성 :
- POWER S/W
ㆍ 정격전압 AC220V 60HZ / AC110V ~ 220V 50Hz(옵션사양)
ㆍ 정격전류 : 3A
- Loss S/W : Sample의 손실 측정 시 손실측정용기가 부착된 linear Stage를
Up/Down 시키는 S/W이다. (On 상태에서 Lamp가 점등한다)
- Laser Shutter On/Off S/W: 측정할 파장의 Laser는 항상 켜있는 상태이므로 방출되는 Laser Beam을
가려주는 역할을 하는 S/W이다.
-Laser Power On/Off S/W: 측정할 파장의 Laser 전원을 On/Off 시키는 S/W이다.
ㆍ 632.8nm He-Ne Laser Power On/Off S/W
ㆍ 830nm Diode Laser Power On/Off S/W
ㆍ 1310nm Diode Laser Power On/Off S/W
ㆍ 1550nm Diode Laser Power On/Off S/W
-Sample의 Coupling 시 공기압 조절부
-공기압력 게이지(Air Pressure Gauge) – Air Pressure
- Push Head를 동작시키기 위한 실린더에 공급되는 공기 압력을 표시한다.
(최대 0.65MPa)
- 공기압력 조절자(Air regulator) – ADJUSTMENT Knob
- Push Head를 동작시키기 위한 실린더에 공급되는 공기 압력을 조절한다.
- 공기압 조절자를 사용자쪽으로 살짝 당긴 후 오른쪽으로 회전시 공기압이 증가하고 왼쪽으로 회전시 공기압이 감소한다.
- Push Head Toggle S/W
- Push Head를 동작시키기 위한 On/Off S/W 이다.
- Prism Coupler 내부 온도 표시창
3. 특징 :
- 사전에 측정시료에 대한 두께 또는 굴절률 정보가 필요하지 않다.
- 막 재료와 기판의 조합에 무관한 측정을 수행한다.
- 2층 박막에서 각각의 막에 관한 굴절률과 두께를 측정 한다.
- 손쉬운 복굴절 및 비등방성 측정을 한다.
- 굴절률, 두께 측정을 20초 이내의 빠른 측정을 한다.
(단, 2층 박막의 경우 20-80초 이내)
- 두꺼운 벌크 박막의 경우 VAMFO방식으로 측정할 수 있다.
- 여러 파장의 레이저를 사용할 수 있다.
- 박막의 굴절률, 두께 측정 후 일원화된 장비에서 손실(loss)측정을 한다
- 박막의 굴절률, 두께 측정 후 일원화된 장비에서 손실(loss)측정