한백
HVEB-240
3년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 전자빔증착기
2003-04-11
46,250,000원
기관의뢰
고정형
건별
100,000원
전자빔을 이용하여 Au, Ti 등을 증착하는 장비임. 필라멘트에서 발생한 전자빔이 crucible 내의 source를 녹여 증발시키며, 증발된 source가 챔버 상단에 로딩되어 있는 기판 표면에 증착됨.
전자빔을 생성하는 필라멘트 및 전원장치, 증착속도 제어를 위한 전류 조절장치, 두께모니터, 초고진공 펌프 등으로 구성되어 있으며, 수 A 범위 내로 잘 조절된 두께를 가지는 금속박막을 증착할 수 있음.