Noran
Quest Level 2 system
4년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > >
2003-05-31
51,445,250원
고정형
원
EDS(Energy Dispersive Spectrometer) 장비는 전자 빔을 이용하여 관찰 시료에 대한 고 배율의 화상을 얻을 수 있는 주가전자현미경(SEM) 장비의 진공 chamber에 전용 검출기(Detector)를 설치하여 SEM의 전자 빔이 주사하고 있는 시료에서 발생되는 특정 신호를 전용 검출기로 검출하여 각 원소의 에너지 영역을 분류 처리 후, 최종적으로 분석하고자 하는 시료의 성분별 스펙트럼 또는 그래프를 제공하며, 이를 이용한 정성/정량 분석 및 면(Mapping), 선(Line scan), 점(Point) 분석 할 수 있는 에너지 분산형 분광분석 장치입니다.
EDS장비의 주요 구성은 검출기(Detector), 본체(Analyzer), 컴퓨터(S/W포함) 그리고 모니터이며, 검출기의 검출 범위는 Boron(B-원자번호 5번)에서 Uranium(U-원자번호 92번)이며, Thermo사의 EDS는 기본 분석 S/W인 정성/정량/Mapping/Line scan/Point analysis 기능이 있습니다.