FEI COMPANY
SIRION
5년
주장비
분석
기타 > >
2003-02-25
319,410,215원
고정형
66,544원
-Gun Type: Schottkey Type-분해능: 3.5nm at 0.5Kv, WD=8nm,2.5nm at 1 Kv, WD=8nm1.5nm at 10Kv, WD=8nm-Beam Stability: 0.1%/10min, 0.4%/10h-Magnification: N mode 40~400K UHR mode,1000~1,200K-Chamber size: 100×100×25mm-Specimen Movement: Tilt -15~+75°
표면처리층의 표면 및 단면 관찰 - EDS를 이용한 정성,정량분석, mapping - BSD를 이용하여 원자번호차가 큰 조성차이를 이미지로 확인