Panasonic
UA 3P
12년
주장비
분석
물리적 측정장비 > 길이/위치측정장비 > 달리 분류되지 않는 길이/위치측정장비
2003-10-21
550,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
140,000원
UA3P는 구면 비구면 반사율 표면 조도에 관계없이 모두 측정이 가능하고 여러개의 참조면을 준비할 필요가 없으며 측정자의 기술력에 좌우되지 않고 간단하고 정확하게 측정이 가능하다. 또한 60도의 경사면까지 측정이 가능하고 원자 간의 척력이 작용하는 영역까지 접근
SPECIFICATIONS 1) 측정방식 및 정밀도 - Scale : He-Ne oscillation frequency stabilized laser - Max. measurable angle : 60o - Probe measurement accuracy : Ruby : 측정각도 30o까지 0.01∼0.05㎛ 측정각도 45o까지 0.1㎛이내 측정각도 60o까지 0.3㎛ Diamond:측정각도 30o까지 0.1㎛ - 좌표축상에서의 측정에러 XY축상의 측정범위 100㎜까지 : 0.05㎛이내 (재현정밀도 : 0.05㎛이내) XY축상의 측정범위 200㎜까지 : 0.1㎛이내 (재현정밀도 : 0.05㎛이내) XY축상의 측정범위 400㎜까지 : 0.2㎛이내 (재현정밀도 : 0.05㎛이내) - Z축 분해능 : 3㎚ - 측정속도 : 0.01∼10㎜/s 3) 소프트웨어 - MS windows2000 이상 - NC자동작성 오토얼라이먼트(프로브반경보정포함) 데이터 편집 오토센터링 자동경사보정 측정중 모니터링 3차원 컬러그래프 거칠기평가기능 주파수해석 4) 사용환경 - 온도 : 20∼23℃항온실(온도변화±1℃이내) - 습도 : 20∼60% - 진동 : 허용치 : 2.0㎠/S2 - 청정도 : Class 15000 이하