Leica Microsyatem LTD.
DM LA, DC300
9년
주장비
분석
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-12-08
53,940,397원
직접사용
고정형
시간별
22,475원
편광 이용가능한 표면관찰용 광학현미경으로서 박막 등 기타 재료의 표면 특성 관찰 가능한 장비로
10배,20배,50배,100배의 대물렌즈가 있음. 샘플 표면을 모니터로 확인할수 있음
구성
배 율 : 50배 ~ 1000배
편 광 / 밝 기 / 투 과 조절 가능
광 원 : 12V, 100W 할로겐램프
;Heating Stage
;PC 이미지 캡쳐/저장 가능
;대안렌즈 : 10x
대물렌즈 : 5X, 10X, 20X, 50X, 100X
대물렌즈 부착 수 : ~ 6개
전 원 : 1Φ 220V, 10A
활용분야
Photo 공정 중의 wafer의 PR 패턴 관찰