HITACHI
S-4700
11년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2003-08-25
408,244,970원
기관의뢰
고정형
시간별
60,000원
- 물질의 미세영역 표면 관찰 및 성분 분석
- Electron source로 부터 방출된 electron beam 이 시편에 주사 되면서 이때 이차적으로 발생되는 다양한 전자를 이용하여 시편 표면의 미세조직을 관찰하는 장비
기능 : 전도성이 있는 물질 표면을 x300k까지 관찰할 수 있고 표면 근처의 성분을 분석가능 표면 관찰 전자총 : Field emission 전자원 배율 : x30 ~ x 300.000 가속전압 : 0.5 ~ 30kv 분해능 : 1.5nm(15KV 가속전압)