XL Photonics
XAL-T011
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
2003-06-17
418,000,000원
직접사용
이동형
시간별
46,000원
3-point laser welding 공정을 통해 경계면을 부착하는 장비로 프로브 스테이션, 고배율 현미경, 광원소스 장치로 구성되어있음, 정밀한 패키지 웰딩을 위한 필수장비임.
◦Current source
- Current range : 0~300mA (stability 0.002%)
◦UV spot light source
- Light condensation : reflection from elliptical surface
◦Epoxy dispenser
- Circle rate : 600/minite
- Time control : 0.00005 second repeatability
- Time range : 0.001~99.9 second
- Air : input(80~100psi), output(0~100psi)
◦Alignment system
- 4개(X,Y,Z,Tz) motorized stage, 2개(Tz,Ty) manual stage
- Travel range:X(70mm),Y(70mm),Z(100mm),Tx,y,z(±8°)
- Resolution:X,Y,Z(0.05um), Tx,y,z(0.05°)
- Max speed : X,Y,Z(10mm/s), Tz(15°/s),Tx,y(12.5°/s)
◦Monitoring system
- 2개의 CCD zoom camera와 IR camera로 구성됨