INTEC
Mars I 75
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-06-03
368,500,000원
직접사용
고정형
시간별
153,542원
광반도체 전극 형성을 위한 금속 박막 증착용 장치로 두개의 챔버(로드락, 메인) 및 크라이요 펌프 오일로터리 펌프로 구성되어 있고, 인피콘의 두께 측정시스템과 2개의 건으로 구성되어있음
장비특징 : - 적용가능 기판크기 : 2인치, 4인치 - 증착 금속 종류 : Au, Al, Ni, Cr 및 Ti 코팅 (Pocket 2set) - Chamber 진공 (1) 기본 진공도 : 5x10-7torr 이하 (2) 터보 펌프, 로터리 펌프 - E-Beam source / power : Dual co-evaporator / 2 ~ 10kW - 온도 균일성 : 200도 오차범위는 4도 - 박막 두께 균일성 : 오차범위는 2퍼센트 이하 - 크리스탈 센서 : Dual port, Dual input, Dual sensor, 6 head