BMT
RTP600S
10년
주장비
기타
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2003-05-21
88,758,969원
고정형
시간별
36,983원
할로겐램프의 고온을 이용하여 웨이퍼 열처리
1. Precess chamber Chamber material : Quartz or Aluminum process chamber Wafer size : 2 inches to 6inches Heat Soure : tungsten halogen lamp Process temperature : 200 -1250도씨 or 300-1150도씨 Ramp rate : 1- 150도씨 /sec more then Temperature uniformity : less than 2.5% Temperature sensor : Pyrometer or Thermocouple Gas Supply : Two MFCs more then